1.光源系统
作用：发射待测元素的特征辐射，为后续的原子化和光谱分析提供基础。
常见光源类型：空心阴极灯是常用的锐线光源，能发射待测元素的共振线；无极放电灯可发射多种元素的特征光谱，多用于多元素同时分析；此外还有激光光源等，具有高亮度、高单色性等优点，可提高仪器的灵敏度和选择性。
2.原子化系统
作用：将试样中的待测元素转化为气态的基态原子，使其能够吸收光源发出的特征辐射，这是原子吸收光谱仪的核心部分之一。
常见原子化方式：火焰原子化法是经典的方法，通过燃烧气体将样品溶液雾化并带入火焰中实现原子化，具有操作简单、重现性好等优点，但灵敏度相对较低；石墨炉原子化法则通过电加热石墨管使样品原子化，可实现更高的灵敏度和更低的检测限，适用于微量和痕量元素的分析；此外还有氢化物发生法等，主要用于测定易形成氢化物的元素。
3.分光系统
作用：将待测元素的特征辐射与邻近谱线分开，以获得单一的特征谱线，确保测量的准确性和选择性。
组成部件：主要由色散元件（如棱镜或光栅）、狭缝和准直镜等组成。其中，色散元件的性能直接影响分光系统的分辨率和色散率，狭缝则用于控制进入检测器的光通量，准直镜用于将光线聚焦到出射狭缝。
4.检测系统
作用：将分光系统分离出的待测元素特征谱线的光信号转换为电信号，并进行放大、处理和显示，以便获得测量结果。
常见检测器：光电倍增管是常用的检测器之一，具有高灵敏度、宽线性范围和快速响应等特点，能够将光信号有效地转换为电信号并进行放大；电荷耦合器件（CCD）检测器也可用于原子吸收光谱仪，具有多通道同时检测、高量子效率和低噪声等优点，可实现快速扫描和多元素同时测定。
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